«РОСТ СЛОЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ И ИЗУЧЕНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СОЗДАННОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ И ЕЕ ВЛИЯНИЯ НА ВЛАЖНОСТЬ», UXIJ, т. 3, вып. 3.1, сс. 749–753, мар. 2026, просмотрено: 4 июнь 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://universaljournal.uz/index.php/uxij/article/view/304