РОСТ СЛОЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ И ИЗУЧЕНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СОЗДАННОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ И ЕЕ ВЛИЯНИЯ НА ВЛАЖНОСТЬ. UXIJ. 2026;3(3.1):749-753. просмотрено июнь 4, 2026. https://universaljournal.uz/index.php/uxij/article/view/304